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中国民营企业500强发布 我省11家企业上榜

2026-06-26 01:00 / 休闲 / 综合 / 娱乐 /

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  • 为深入落实陕煤集团内部协同发展战略，精准对接产业发展需求，拓展合作领域、提升合作效能，3月24日，陕建机股份党委书记、董事长车万里，党委副书记、董事、总经理黄爱民率队先后赴黄陵矿业、铜川矿业开展座谈，围绕钢结构工程、矿用装备、塔机业务、智慧矿山等议题深入沟通交流。

    在黄陵矿业，黄陵矿业党委书记、董事长王鹏飞对车万里一行的到访表示欢迎，详细介绍了黄陵矿业的历史沿革、经营成果、发展规划等情况，分享了安全生产管理体系创新、舆情信息化建设、成本核算管控、产能提升、综合利用、党建融合发展等方面的实践经验，在回顾与陕建机股份合作历程时，他希望双方进一步深化协同，在钢结构制作安装、矿用装备应用、塔机租赁服务等业务上加强对接，实现资源共享、同步发展。

    在铜川矿业，铜川矿业党委书记、董事长雷铁山对车万里一行的到访表示欢迎，并详细介绍了铜川矿业的生产经营、安全环保、项目建设等基本情况，以及在智能化建设、绿色发展、装备升级等方面的发展规划和合作需求，对陕建机股份的技术实力和产品给予充分肯定，希望双方以此次座谈为契机，在矿用装备、塔机业务、工程配套服务等领域开展深度合作，携手应对市场挑战，实现互利共赢。

    车万里对黄陵矿业和铜川矿业的热情接待表示感谢，详细介绍了陕建机股份的核心优势和定制化服务能力，他表示将充分发挥装备制造、工程建设、耗材配套等方面的优势，精准对接矿区需求，提供高性价比的产品和高效的服务保障。希望双方建立常态化沟通机制，在矿用耗材供应、电控液控产品配套、工程服务保障等方面拓展合作。

    黄陵矿业、铜川矿业相关领导、部门负责人，陕建机股份领导班子成员，郑州恒达智控总经理、陕煤智控董事、总经理王俊甫及相关业务部门负责人参加交流座谈。

    " alt="深化协同聚合力 携手共赢向未来 陕建机股份赴黄陵矿业与铜川矿业交流座谈">
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  • 随着半导体制程向先进节点演进，3D 晶体管架构与多层互连堆叠技术的规模化应用，使得器件缺陷的隐蔽性与检测难度显著提升。传统光学检测技术已难以满足电学相关缺陷的识别需求，而电子束检测的效率瓶颈又制约了量产应用。DirectScan检测通过核心技术创新破解了这一行业痛点，为下一代半导体制造提供了高效、精准的检测解决方案。


    本文将从技术原理、核心优势、应用场景及落地实践等方面，对该技术进行系统性解析。


    一、先进工艺节点的检测挑战与技术缺口


    当前半导体制造技术正经历关键变革：鳍式场效应晶体管逐步被全环绕栅极（GAA）纳米带晶体管替代，中段制程（MOL）因多重图形化技术的应用，堆叠复杂度持续增加。这一变革导致致命缺陷多隐匿于 3D 结构内部，传统光学检测手段难以有效识别。


    同时，先进工艺节点的缺陷呈现显著的产品特异性，集中分布于特定工艺 - 版图组合的 “热点区域”，此类缺陷由芯片设计固有的版图特征引发，成为影响良率的核心因素。


    行业面临的核心矛盾在于：电子束电压衬度检测是识别电学缺陷的关键技术，但传统电子束检测采用光栅扫描模式，效率远低于光学检测，无法匹配大批量生产的需求。DirectScan 技术的出现，为破解这一矛盾提供了可行路径。


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    二、DirectScan 核心技术架构：PointScan 的创新逻辑


    DirectScan 检测方案由eProbe 电子束检测工具、FIRE GDS 版图分析平台及Exensio 大数据智能分析平台三大核心组件构成，其技术突破的核心在于PointScan 扫描技术对传统电子束检测逻辑的重构，主要体现在以下三方面：


    1

    设计感知驱动的靶向检测

    传统电子束检测采用无差别光栅扫描，需覆盖包括介质区域在内的全部区域，且无法识别被测目标的图形特征；PointScan 技术具备非接触式电学测试特性，可精准跳转至目标器件的关键位置（如焊盘、接触点），仅对有效检测区域实施电压衬度检测，完全规避介质区域的无效扫描，实现 “按需检测”。

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    2

    检测效率的量级提升

    通过 FIRE 平台的精细化版图分析，可精准筛选出需检测的 “关键区域”，大幅缩减检测范围：

    后段制程金属 3 层通孔检测：仅需扫描总可检测面积的 2.5%

    中段制程栅极 - 漏极短路检测：仅需扫描总接触点的 1%

    栅极残筋检测：可规避 50%-75% 的介质区域，检测面积缩减至传统方案的 10% 以下


    基于上述优化，PointScan 技术的检测吞吐量可达传统单束电子束检测设备的 20-100 倍，每小时可完成数十亿个被测器件的扫描。


    3

    设计感知学习与属性分析能力

    DirectScan 与 FIRE 平台的深度整合，可实现跨多层版图的属性提取，包括触点类型（漏极 / 栅极）、晶体管阈值电压、极性、与扩散区隔离槽的距离等关键参数。


    eProbe 输出的 KLARF格式数据含专属属性识别码，可与版图特征精准匹配，工程师可直接计算特定属性或属性组合对应的缺陷率，快速定位高风险晶体管类型与版图设计方案，为工艺优化提供数据支撑。


    三、高难度场景的应用突破


    PointScan 技术的低电荷沉积特性，使其在传统电子束检测难以覆盖的场景中实现突破：


    背侧供电网络（BSPDN）晶圆检测


    键合晶圆形成的绝缘层会阻碍电荷传导，导致传统电子束检测出现电荷累积、电子束偏折与失焦问题；PointScan 技术大幅降低单位面积电荷沉积量，有效缓解上述问题，已完成实际应用验证。


    3D DRAM检测


    3D DRAM 的结构特性同样易引发电荷累积，此前检测难度较高，DirectScan 技术的应用使该类器件的精准检测成为可能。


    DRAM 阵列短路检测


    独有的可控 “充电 - 检测” 功能，可在指定位置施加电荷后跳转至目标区域采集电压衬度信号，使特定岛状节点呈现高亮状态，清晰识别与浮空相邻触点的短路问题，该功能为传统光栅扫描技术所不具备。


    四、行业落地实践与全流程应用


    自 2022 年初起，eProbe 检测系统已在多家先进逻辑芯片制造工厂落地，目前两套设备投入大批量生产，第三套设备处于产能爬坡阶段，应用场景覆盖半导体制造全流程：


    先进逻辑芯片制造


    中段制程：GAA 栅极 - 漏极短路、栅极接触孔开路、栅极外延层 / 硅化物层开路检测

    后段制程：M0 层、1X 层、2X 层系统性接触孔开路与金属布线短路检测

    背侧供电网络：电源通孔、源极 / 漏极通孔接触孔开路与短路检测

    随机逻辑电路漏电情况评估


    先进 DRAM 制造（2024-2025 年）


    外围电路：栅极 - 栅极残筋短路、栅极 - 漏极短路、字线 - 字线短路与开路检测及缺陷定位

    存储阵列：基于可控 “充电 - 检测” 技术的存储节点短路检测


    技术总结


    在半导体制程向更精密 3D 架构演进的背景下，检测技术的创新成为保障良率的关键。DirectScan 方案通过 PointScan 靶向扫描技术、设计感知分析能力与产品特异性缺陷学习功能的融合，在保留电子束检测高灵敏度的基础上，实现了检测吞吐量的量级提升，同时破解了高难度场景的检测难题。


    该技术不仅解决了先进工艺节点下缺陷“难识别、难检测” 的问题，更推动半导体检测从 “缺陷识别” 向 “工艺优化赋能” 升级，为下一代半导体制造提供了核心技术支撑和全新路径。

    " alt="DirectScan 技术解析：下一代半导体电子束检测的创新路径与应用">
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    • 叮当猫
    • 发布时间：2026-03-11 09:22
    • 作者：叮当猫
    爆了！阿德巴约半场狂轰43分创历史半场第5高分 上半场历史第二！

    3月11日讯 NBA常规赛，热火半场76-62领先奇才。

    上半场，热火内线阿德巴约状态炸裂，在首节就狂轰夸张的31分，上半场打了19分钟，投篮24中13，三分球11中5，罚球14中12，砍下43分5篮板2抢断1盖帽的数据，正负值+11。

    据统计，阿德巴约半场狂轰43分，也追平了NBA历史（自1996-97赛季有统计以来）半场（任意半场）第5高的得分，也是NBA历史上半场第二高的得分！

    NBA历史半场得分Top5：

    " alt="爆了！阿德巴约半场狂轰43分创历史半场第5高分 上半场历史第二！">
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